在manual模式下是可以将wafer放在blade上的，但是系统设置里如果默认用的是相反的那个blade的话，再次传片就会报no wafer on blade，昨天值班的时候看到这信息还以为掉片了……吓出一身冷汗，而且手动放片也会报错，还好后来手动传到CHF重新换了blade。

PR Strip的shutter 挡片sensor相当难调..昨天弄了好久= =总算学会了，最近back helium leak rate还是那么高..以后boss让我接GATE etch型机台可得死命推辞..XD

checkpoint 1:由于Li制程的defect相当严重，所以现在只能在RF5－65小时的机台上运行

checkpoint 2:scrubber的三通阀改天需要换掉。